表面表征分析
表面表征分析是利用电子、光子、离子、原子、强电场、热能等与固体表面的相互作用,分析从表面散射或发射的电子、光子、离子、原子、分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或衍射图像,得到表面成分、表面结构、表面电子态及表面物理化学过程等信息。先进材料表征方法包括表面元素组成、化学态及其在表层的分布测定等。
表面表征分析是对固体表面或界面上只有几个原子层厚的薄层进行组分、结构和能态进行分析,揭示材料及其制品的表面形貌、成分、结构或状态。
表面表征分析的内容有:
(1). 表面化学组成:表面元素组成,表面元素的分布,表面元素的化学态,表面化学键,化学反应等;可用技术:XPS(X- ray Photoelectron Spectroscopy,X射线光电子能谱), AES(Auger Electron Spectroscopy,俄歇电子能谱)、SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy,二次离子质谱)、ISS(Ion Scattering Spectroscopy,离子散射谱)。
(2). 表面原子结构:表面层原子的几何配置,确定原子间的精确位置。表面弛豫,表面再构,表面缺陷,表面形貌;可用技术:LEED(Low Energy ElectronDiffraction,低能电子衍射)、RHEED(Reflection High - Energy Electron Diffrac-tion,反射式高能电子衍射)、EXAFS(Extended X-ray Absorption Fine Structure,扩展X射线吸收精细结构谱)、SPM(Scanning Probe Microscope,扫描探针显微镜)、FIM(Field Ion Microscope,场离子显微镜)。
(3). 表面原子态:表面原子振动状态,表面吸附、表面扩散等;可用技术:EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy,电子能量损失谱)、RAIRS(Reflection Absorption InfraRed Spectroscopy,反射吸收红外谱)。
(4). 表面电子态:表面电荷密度分布及能量分布、表面能级性质、表面态密度分布、价带结构、功函数、表面的元激发。可用技术:UPS(UltravioletPhotoelectron Spectroscopy,紫外光电子能谱)、ARPES(Angle Resolved PhotoEmis-sion Spectroscopy,角分辨光电子能谱)、STM(Scanning Tunneling Microscope,扫描隧道显微镜)。